Opis

Tehnički parametri

Ningbo Sibranch Microelectronics Technology Co., Ltd.: Vaš pouzdani proizvođač termalnih oksidnih silikonskih pločica!

Osnovan 2006. godine od strane znanstvenika iz znanosti o materijalima i inženjeringa u Ningbou u Kini, Sibranch Microelectronics ima za cilj pružanje poluvodičkih pločica i usluga diljem svijeta. Naši glavni proizvodi uključuju standardne silicijske pločice SSP (jednostrano polirane), DSP (dvostrano polirane), testne silikonske pločice i primarne silicijske pločice, SOI (Silicij na izolatoru) pločice i coinroll pločice promjera do 12 inča, CZ/MCZ/ FZ/NTD, gotovo bilo koje orijentacije, off cut, visoki i niski otpor, ultra ravne, ultra tanke, debele pločice itd.

Vodeća služba
Posvećeni smo stalnom inoviranju naših proizvoda kako bismo stranim kupcima pružili veliki broj visokokvalitetnih proizvoda koji nadmašuju zadovoljstvo kupaca. Također možemo pružiti prilagođene usluge prema zahtjevima kupaca kao što su veličina, boja, izgled, itd. Možemo pružiti najpovoljniju cijenu i proizvode visoke kvalitete.

Kvaliteta zajamčena
Kontinuirano istražujemo i uvodimo inovacije kako bismo zadovoljili potrebe različitih kupaca. U isto vrijeme, uvijek se pridržavamo stroge kontrole kvalitete kako bismo osigurali da kvaliteta svakog proizvoda zadovoljava međunarodne standarde.

Široke prodajne zemlje
Fokusirani smo na prodaju na inozemnim tržištima. Naši se proizvodi izvoze u Europu, Ameriku, jugoistočnu Aziju, Bliski istok i druge regije te su dobro prihvaćeni od kupaca diljem svijeta.

Razne vrste proizvoda
Naša tvrtka nudi prilagođene usluge obrade silikonskih pločica prilagođene specifičnim potrebama naših klijenata. To uključuje Si Wafer BackGrinding, Dicing, DownSizing, Edge Grinding, kao i MEMS među ostalima. Nastojimo isporučiti rješenja po mjeri koja premašuju očekivanja i osiguravaju zadovoljstvo kupaca.

CZ silikonska pločica

CZ Silicijska pločica izrezana je iz monokristalnih ingota silicija izvučenih Czochralski CZ metodom rasta, koja se najčešće koristi u elektroničkoj industriji za uzgoj kristala silicija iz velikih cilindričnih ingota silicija koji se koriste za proizvodnju poluvodičkih uređaja. U ovom procesu, izduženo kristalno klice silicija s preciznom tolerancijom orijentacije uvodi se u bazen rastaljenog silicija s precizno kontroliranom temperaturom. Zametni kristal se polako povlači prema gore iz taline strogo kontroliranom brzinom, a kristalno skrućivanje atoma tekuće faze događa se na međupovršini. Tijekom ovog procesa izvlačenja, klica kristala i lončić se okreću u suprotnim smjerovima, tvoreći veliki monokristal silicija sa savršenom kristalnom strukturom klice.

Vafer od silicijevog oksida

Silicijeva oksidna pločica je napredan i bitan materijal koji se koristi u raznim visokotehnološkim industrijama i aplikacijama. To je kristalna tvar visoke čistoće proizvedena preradom visokokvalitetnih silicijskih materijala, što ga čini idealnim supstratom za mnoge različite vrste elektroničkih i fotonskih primjena.

Dumy Wafer (Coinroll)

Dummy vafli (također se nazivaju test vafli) su vafli koji se uglavnom koriste za pokuse i testiranje i razlikuju se od uobičajenih vafli za proizvod. Sukladno tome, obnovljene pločice se uglavnom primjenjuju kao lažne pločice (testne pločice).

Silikonska pločica obložena zlatom

Silicijske pločice obložene zlatom i silikonski čipovi obloženi zlatom intenzivno se koriste kao supstrati za analitičku karakterizaciju materijala. Na primjer, materijali naneseni na pločice obložene zlatom mogu se analizirati elipsometrijom, Ramanovom spektroskopijom ili infracrvenom (IR) spektroskopijom zbog visoke refleksije i povoljnih optičkih svojstava zlata.

Silicijska epitaksijalna ploča

Silicijske epitaksijalne pločice vrlo su svestrane i mogu se proizvesti u različitim veličinama i debljinama kako bi zadovoljile različite zahtjeve industrije. Također se koriste u raznim aplikacijama, uključujući integrirane krugove, mikroprocesore, senzore, energetsku elektroniku i fotonapon.

Termalni oksid suhi i mokri

Proizveden korištenjem najnovije tehnologije i dizajniran da ponudi neusporedivu pouzdanost i dosljednost u radu. Thermal Oxide Dry and Wet bitan je alat za proizvođače poluvodiča diljem svijeta jer pruža učinkovit način za proizvodnju visokokvalitetnih pločica koje ispunjavaju sve zahtjevne zahtjeve industrije.

Tanka silikonska pločica

Što su ultratanke silikonske pločice? Vaferi debljine 200 mikrona razrjeđivača koriste sljedeće za svoj proces stanjivanja mehaničko brušenje, smanjenje naprezanja, poliranje i jetkanje. Trenutno iu budućnosti ultratanki silicij važni su građevni blokovi za proizvodnju poluvodičkih uređaja.

Silicijska pločica od 300 mm

Ovaj vafel ima promjer od 300 milimetara, što ga čini većim od tradicionalnih veličina vafla. Ova veća veličina čini ga isplativijim i učinkovitijim, omogućujući veću proizvodnju bez žrtvovanja kvalitete.

Silicijska pločica od 100 mm

Silicijska pločica od 100 mm je visokokvalitetni proizvod koji se naširoko koristi u industriji elektronike i poluvodiča. Ova pločica je dizajnirana da pruži optimalnu izvedbu, preciznost i pouzdanost koji su ključni u proizvodnji poluvodičkih uređaja.

Što je toplinska oksidna silicijska pločica

Thermal Oxide Silicon Wafer su silikonske pločice na kojima je formiran sloj silicijevog dioksida (SiO2). Toplinski oksid (Si+SiO2) ili sloj silicijevog dioksida nastaje na goloj površini silicijske pločice na povišenoj temperaturi u prisutnosti oksidansa kroz proces toplinske oksidacije. Obično se uzgaja u horizontalnoj cijevnoj peći s temperaturnim rasponom od 900 do 1200 stupnjeva, koristeći "mokru" ili "suhu" metodu rasta. Toplinski oksid je vrsta "naraslog" oksidnog sloja. U usporedbi s CVD taloženim oksidnim slojem, izvrstan je dielektrični sloj kao izolator s većom ujednačenošću i većom dielektričnom čvrstoćom. Za većinu uređaja koji se temelje na siliciju, sloj toplinskog oksida značajan je materijal za smirivanje površine silicija da djeluje kao doping barijera i površinski dielektrik.

Vrste toplinski oksidnih silikonskih ploča

Vlažni toplinski oksid na obje strane vafla
Debljina filma: 500Å – 10µm s obje strane
Tolerancija debljine filma: ciljano ±5%
Naprezanje filma: – 320±50 MPa na pritisak

01/

Vlažni toplinski oksid na jednoj strani vafla
Debljina filma: 500Å – 10,000Å s obje strane
Tolerancija debljine filma: ciljano ±5%
Naprezanje filma: -320±50 MPa na pritisak

02/

Suhi toplinski oksid s obje strane vafla
Debljina filma: 100Å – 3,000Å s obje strane
Tolerancija debljine filma: ciljano ±5%
Naprezanje filma: – 320±50 MPa na pritisak

03/

Suhi toplinski oksid na jednoj strani vafla
Debljina filma: 100Å – 3,000Å s obje strane
Tolerancija debljine filma: ciljano ±5%
Naprezanje filma: – 320±50 MPa na pritisak

04/

Suhi klorirani toplinski oksid s žarenjem formirajućim plinom
Debljina filma: 100Å – 3,000Å s obje strane
Tolerancija debljine filma: ciljano ±5%
Naprezanje filma: – 320±50 MPa na pritisak
Obrada strana: Obje strane

Proces proizvodnje termo oksidne silikonske pločice

Toplinska oksidacija silicija počinje stavljanjem silicijskih pločica u kvarcni stalak, obično poznat kao čamac, koji se zagrijava u kvarcnoj peći za termičku oksidaciju. Temperatura u peći može biti između 950 i 1250 stupnjeva Celzijusa pod standardnim tlakom. Potreban je sustav kontrole kako bi se vafli držali unutar oko 19 stupnjeva Celzija od željene temperature.
U peć za toplinsku oksidaciju uvodi se kisik ili para, ovisno o vrsti oksidacije koja se izvodi.
Kisik iz tih plinova zatim difundira s površine supstrata kroz oksidni sloj do sloja silicija. Sastav i dubina oksidacijskog sloja mogu se precizno kontrolirati pomoću parametara kao što su vrijeme, temperatura, tlak i koncentracija plina.
Visoka temperatura povećava brzinu oksidacije, ali također povećava nečistoće i pomicanje spoja između slojeva silicija i oksida.

Ove karakteristike su posebno nepoželjne kada proces oksidacije zahtijeva više koraka, kao što je slučaj sa složenim IC-ovima. Niža temperatura proizvodi kvalitetniji sloj oksida, ali i produžuje vrijeme rasta.

Tipično rješenje ovog problema je zagrijavanje pločica na relativno niskoj temperaturi i visokom tlaku kako bi se smanjilo vrijeme rasta.

Povećanje za jednu standardnu atmosferu (atm) smanjuje potrebnu temperaturu za oko 20 stupnjeva Celzijusa, pod pretpostavkom da su svi ostali faktori jednaki. Industrijske primjene toplinske oksidacije koriste do 25 atm tlaka s temperaturom između 700 i 900 stupnjeva Celzijusa.

Stopa rasta oksida je u početku vrlo brza, ali se usporava jer kisik mora difundirati kroz deblji sloj oksida da bi došao do silicijske podloge. Gotovo 46 posto oksidnog sloja prodire u originalnu podlogu nakon završetka oksidacije, ostavljajući 54 posto oksidnog sloja na vrhu podloge.

FAQ

P: Što je toplinski oksid silicijske pločice?

O: Toplinska oksidacija rezultat je izlaganja silicijske pločice kombinaciji oksidacijskih sredstava i topline kako bi se stvorio sloj silicijeva dioksida (SiO2). Ovaj se sloj najčešće izrađuje s vodikom i/ili kisikom, iako se može koristiti bilo koji halogen plin.

P: Koja su dva glavna uzroka toplinske oksidacije?

O: Ova oksidacijska peć je potom podvrgnuta ili kisiku (suha toplinska oksidacija) ili molekulama vode (mokra toplinska oksidacija). Molekule kisika ili vode reagiraju s površinom silicija postupno stvarajući tanki oksidni sloj.

P: Što se događa kada se silicijska pločica stavi u visokotemperaturnu peć s kisikom ili parom?

O: Nasuprot tome, toplinska oksidacija se postiže reakcijom silicijske pločice s kisikom ili parom na visokoj temperaturi. Toplinski uzgojeni oksidi općenito pokazuju superiorna dielektrična svojstva u usporedbi s taloženim oksidima. Struktura ovih oksida je amorfna; međutim, oni su čvrsto vezani za površinu silicija.

P: Koja je razlika između mokrog i suhog termalnog oksida?

O: Indeks loma MOKROG i SUHOG termalnog oksida ne razlikuju se mjerljivo. Struja curenja je manja i dielektrična čvrstoća je veća za SUHI nego za MOKRI toplinski oksid. Pri vrlo malim debljinama, manjim od 100 nm, debljina SUHOG oksida može se preciznije kontrolirati jer raste sporije od VLAŽNOG toplinskog oksida.

P: Kolika je debljina oksidnog sloja na silicijskoj ploči?

O: Naziva se "oksid", ali također i kvarc i silicij. (približno 1,5 nm ili 15 Å [angstroma]) koji se formira na površini silicijske pločice kad god je pločica izložena zraku u uvjetima okoline.

P: Zašto je toplinska oksidacija poželjna za rast SiO2 kao oksida vrata?

O: Rast silicijevog dioksida izvodi se toplinskom oksidacijom, bilo u suhom ili mokrom ambijentu. Za najkvalitetnije okside, kao što su gate oksidi, poželjna je suha oksidacija. Prednosti su spora brzina oksidacije, dobra kontrola debljine oksida u tankim oksidima i visoke vrijednosti razgradnog polja.

P: Kako uklanjate oksidni sloj sa silicija?

O: Slojevi silicijevog dioksida mogu se ukloniti sa silicijevih supstrata različitim metodama. Jedna metoda uključuje namakanje pločice u otopini za jetkanje kako bi se uklonio veći dio sloja silicij-oksida, nakon čega slijedi pranje površine pločice s drugom otopinom za jetkanje kako bi se uklonio preostali sloj silicij-oksida.

P: Koja je svrha korištenja termički uzgojenog oksidnog sloja na silicijskoj pločici kao početnog sloja za našu proizvodnju?

O: Proces toplinskog taloženja oksida na siliciju uobičajena je metoda izrade MEMS uređaja. Proces poboljšava površinu silicijskih pločica, uklanjajući neželjene čestice i rezultirajući tankim filmovima visoke električne čvrstoće i čistoće.

P: Što je toplinski oksid silicijske pločice?

P: Što je toplinski rast silicijeva oksida?

O: Rast silicijeva dioksida događa se 54% iznad i 46% ispod izvorne površine silicija kako se silicij troši. Brzina mokre oksidacije je brža od procesa suhe oksidacije. Stoga je postupak suhe oksidacije prikladan za stvaranje tankog oksidnog sloja za pasiviziranje površine silicija.

P: Što je suha oksidacija silicijske pločice?

O: Obično se za oksidaciju silicija koristi kisik visoke čistoće. Plinoviti dušik u oksidacijskom sustavu koristi se kao procesni plin tijekom mirovanja sustava, povećanja temperature, koraka punjenja pločica i pražnjenja komore, jer dušik ne reagira sa silicijem na temperaturi obrade.

P: Zašto je toplinska oksidacija poželjna za rast SiO2 kao oksida vrata?

P: Kako radi toplinska oksidacija?

O: Termalni oksidator zagrijava VOC ili HAP na točno određenu temperaturu dok ne oksidiraju. Proces oksidacije razgrađuje štetne zagađivače na ugljični dioksid i vodu. Toplinski oksidansi su idealni u primjenama gdje mogu biti prisutne čestice i gdje postoji veća koncentracija HOS-eva.

P: Koja se vrsta silikonske podloge koristi za oksidaciju?

O: Monokristal<100>silicij ili silicij s malim zarezom (<100>±0.5 stupnjeva ) daje najbolje rezultate. Poželjne su umjerene razine dopinga (1-100 Ωcm otpornost). Veći promjeri do 300 mm uobičajeni su za toplinsku oksidaciju.

P: Zašto je stanje površine tako važno?

O: Površina bez organskih tvari i minimalna hrapavost omogućuju ravnomjernu oksidaciju i minimaliziraju nedostatke u oksidnom sloju. Postupci čišćenja imaju za cilj ukloniti organsku kontaminaciju i čestice sve do<100/cm2 level.

P: Što uzrokuje varijacije u brzini oksidacije?

O: Primarni pokretači su temperatura i oksidans okoline. Međutim, parametri poput koncentracije dopinga, gustoće defekata, orijentacije kristala, hrapavosti površine također utječu na stope difuzije koje upravljaju kinetikom oksidacije.

P: Koji problemi mogu nastati zbog neujednačenog silicija?

O: Prostorne razlike u debljini ili sastavu umanjuju performanse i učinak uređaja. Ciljevi ujednačenosti općenito su<±1% variation across a wafer.

P: Koliko čista mora biti silicijska podloga?

O: Visoka čistoća s minimalnim metalnim ili kristalografskim onečišćenjem ključna je za kvalitetu dielektrika vrata. Silicij za napredne čvorove može koristiti razine čistoće iznad 11 devetki (99,999999999%).

P: Može li silicijev oksid zamijeniti silicijske podloge u uređajima?

O: Ne. Silicijev oksid ima funkciju izolacije i dielektrika, ali uređaji kao što su tranzistori zahtijevaju temeljni poluvodički supstrat poput silicija za funkcionalnost. Samo silicij sam po sebi omogućuje učinkovito prebacivanje.

P: Koliko se silicija potroši tijekom oksidacije?

O: Otprilike 44% početne debljine oksida rezultat je potrošnje same silikonske pločice. Ravnoteža proizlazi iz izvora kisika. Ovaj omjer određuje konačnu čistoću oksida.

Zašto odabrati nas

Naši proizvodi potječu isključivo od pet vodećih svjetskih proizvođača i vodećih domaćih tvornica. Uz podršku visokokvalificiranih domaćih i međunarodnih tehničkih timova i strogih mjera kontrole kvalitete.

Naš cilj je klijentima pružiti sveobuhvatnu podršku jedan na jedan, osiguravajući glatke kanale komunikacije koji su profesionalni, pravovremeni i učinkoviti. Nudimo nisku minimalnu količinu narudžbe i jamčimo brzu isporuku unutar 24 sata.

Tvornička izložba

Naša ogromna zaliha sastoji se od 1000+ proizvoda, čime kupci mogu naručiti samo jedan komad. Naša vlastita oprema za rezanje na kockice i brušenje pozadine i puna suradnja u globalnom industrijskom lancu omogućuju nam brzu isporuku kako bismo osigurali zadovoljstvo i praktičnost kupaca na jednom mjestu.

Naš certifikat

Naša tvrtka ponosi se raznim certifikatima koje smo stekli, uključujući naš patentni certifikat, ISO9001 certifikat i nacionalni certifikat za visokotehnološko poduzeće. Ovi certifikati predstavljaju našu predanost inovacijama, upravljanju kvalitetom i predanost izvrsnosti.