Gdje se koriste jastučići za poliranje silikonskih ploča?

Polirane pločice su najviše korišteni proizvod, a ostali proizvodi od silicijskih pločica proizvode se sekundarnom preradom na bazi poliranih pločica.
Polirane pločice su najosnovnije i široko korištene silikonske pločice. Polirane pločice mogu se izravno koristiti za izradu poluvodičkih uređaja koji se široko koriste u memorijskim čipovima i uređajima za napajanje, a također se mogu koristiti kao materijali za podlogu za epitaksijalne pločice, SOI silicijske pločice i druge vrste silicijskih pločica.
S kontinuiranim smanjenjem karakteristične širine linije integriranih krugova i sve finijom preciznošću litografije, izuzetno male neravnine na silicijskoj pločici uzrokovat će deformaciju i pomicanje grafike integriranog kruga. Tehnologija proizvodnje silicijskih pločica suočava se sa sve većim zahtjevima i izazovima. Veličina čestica i čistoća površine čipa također imaju izravan utjecaj na iskorištenje poluvodičkih proizvoda.
Stoga je postupak poliranja vrlo važan za poboljšanje ravnosti i čistoće površine silicijske ploče. Glavno načelo je postići planarizaciju površine poluvodičke silicijske ploče i smanjiti hrapavost uklanjanjem zaostalog sloja oštećenja na obrađenoj površini.