TTV, BOW, WARP i TIR su sve pojmovi koji se koriste u industriji poluvodiča za opisivanje različitih aspekata geometrije površine pločice. Ovi se izrazi obično koriste tijekom proizvodnje poluvodičkih čipova kako bi se osigurali visokokvalitetni i precizni proizvodni procesi.
TTV označava varijaciju ukupne debljine i odnosi se na varijaciju debljine pločice po njezinoj površini. TTV je bitno mjeriti tijekom procesa proizvodnje jer utječe na performanse i učinak konačnog poluvodičkog čipa. Mjerenjem i kontrolom TTV-a proizvođači mogu osigurati jednoliku debljinu pločice i minimizirati pogreške u proizvodnom procesu.
LUK, ili luk, odnosi se na oblik površine napolitanke po promjeru. To je količina zakrivljenosti ili odstupanja od savršeno ravne površine. Ploče s visokim BOW-om mogu biti zahtjevnije za obradu jer mogu stvoriti probleme u poravnanju i fokusiranju tijekom procesa oblikovanja. Proizvođači moraju točno kontrolirati BOW, tako da poluvodički uređaji proizvedeni od pločica zadovoljavaju željene specifikacije performansi.
WARP opisuje odstupanje površine pločice od njezine savršene ravnine u bilo kojem području. Odnosi se na iskrivljenje površine pločice uslijed različitih naprezanja, kao što su toplinska naprezanja ili mehaničke sile. WARP može rezultirati neusklađenošću između pločica tijekom proizvodnje poluvodičkih uređaja, što dovodi do nižih prinosa. Stoga su praćenje i upravljanje WARP-om ključni za postizanje visokokvalitetnih poluvodičkih uređaja.
TIR, ili total indicated runout, odnosi se na varijaciju ravnosti pločice u odnosu na njezinu rotacijsku os. Ova je mjera ključna za osiguravanje točnog poravnanja i fokusa tijekom obrade pločice, posebno tijekom procesa izrade uzorka. Poluvodiči s visokim TIR-om mogu negativno utjecati na učinak i performanse konačnog uređaja.
TTW, BOW, WARP i TIR kritične su mjere koje se koriste za osiguranje visokokvalitetnih poluvodičkih uređaja. Ispravno praćenje i kontrola ovih mjera tijekom procesa proizvodnje pločica su imperativ za postizanje preciznih poluvodičkih uređaja s vrhunskim performansama i prinosom.