Lutke
Riječ "lutka" znači "lažno" ili "simulirano ." "lutke, poznate i kao lažni rezi, obično nemaju uzorak ili samo nekoliko slojeva s uzorkom . Njihovi glavni scenariji aplikacije su:
Koristi se za uklanjanje pogrešaka i kalibraciju poluvodičke opreme kako bi se osiguralo da je u optimalnom stanju prije formalne proizvodnje .
Koristi se prilikom uvođenja novih procesa ili prilagođavanja postojećih, omogućavajući testiranje i optimizaciju kako bi se smanjili rizici na masovnoj proizvodnji .
Testne
Test Wafers (koji se nazivaju i inženjerski vafri) prolaze kroz puni tijek procesa i sadrže različite uzorke i strukture . njihove su glavne funkcije:
Tijekom uvođenja novih čip proizvoda, testni vafri koriste se za provjeru i optimizaciju procesa proizvodnje, u konačnici omogućujući masovnu proizvodnju .
Kada se problemi s procesom javljaju kod masovnih proizvodnih rezina, testni vafli koriste se za odgovarajuće testiranje DOE (dizajn eksperimenata) kako bi se poboljšao proces .
Masovna proizvodnja
Masovna proizvodna vafla koristi se za proizvodnju poluvodičkih uređaja koji se isporučuju kupcima . Ovi vafri prolaze strogu kontrolu kvalitete tijekom procesa proizvodnje kako bi se osiguralo da konačni proizvodi ispunjavaju zahtjeve kupca .
Zašto su ove vrste rezina kategorizirane odvojeno?
Razlika se uglavnom temelji na troškovima i važnosti . u smislu troškova i kritičnosti:
Masovne proizvodne vafere> Test Wafers> Dummy Wafers .
Masovne proizvodne vafere isporučuju se kupcima i predstavljaju ekonomski život cijele tvrtke . Važno je da dovrše proizvodnju s visokim i visokim prinosom . njihovi parametri procesa i radovi su relativno fiksni, a sve promjene moraju biti 100% sigurne i pouzdane .
Stoga se niže troškovi i fleksibilniji lutke i inženjerski (eng) vafoni koriste kako bi se izbjeglo trošenje vrijednih masovnih proizvodnih vafera tijekom testiranja i optimizacije procesa .
