Što je ravni rub silicijske pločice?
Flat se također može nazvati rubom za pozicioniranje.
Silicijske pločice od 2, 4 i 6- inča nisu potpuno okrugle, ali imaju odrezan kut koji nedostaje. Nakon što se silicijski ingot izvuče CZ metodom, prije nego što se izreže u silicijske pločice, nakon što se odredi orijentacija kristala, jedan ili više ravnih rubova će se izrezati na ingotu dijamantnom pilom. Stoga silicijska pločica ima 1-2 rubova za pozicioniranje, dugi rub za pozicioniranje je na dnu pločice, a kratki rub za pozicioniranje nije fiksiran u položaju, mijenjajući se s orijentacijom kristala i vrstom dopinga.
Kakav je odnos između položaja ruba pozicioniranja i orijentacije kristala?
Općenito postoje tri vrste kristalnih orijentacija za silicijske pločice:<111> <110> <100>.
Kada je kut između glavnog ruba za pozicioniranje i ruba za sekundarno pozicioniranje 45 stupnjeva, tip silicijske pločice je n-tip<111>; kada je kut između glavnog pozicionog ruba i sekundarnog pozicionog ruba 90 stupnjeva, tip silicijske pločice je p-tip<100>; kada je kut između glavnog ruba za pozicioniranje i ruba za sekundarno pozicioniranje 180 stupnjeva, tip silicijske pločice je n-tip<100>. Budući da je<110>Orijentacija kristala nije uobičajena orijentacija kristala silicijske ploče, ne postoji standard koji bi je predstavljao. The<110>orijentacija kristala može se prikazati prema vlastitim standardima dobavljača silikonske pločice.
Jesu li duljine primarnih i sekundarnih rubova za pozicioniranje fiksne?
Da, budući da moraju odgovarati opremi za proizvodnju poluvodiča, duljine i položaji primarnih, primarnih i sekundarnih rubova za pozicioniranje su fiksni.
Općenito, duljina primarnog ruba za pozicioniranje 2-inčne silikonske pločice je 15,8 mm, duljina primarnog pozicionog ruba 4-inčne silikonske pločice je 32,5 mm, a duljina primarne rub za pozicioniranje 6-inčne silikonske pločice je 57,5 mm. Duljina sekundarnog pozicionirajućeg ravnog ruba 4-inčne silicijske pločice je oko 18 mm, a duljina sekundarnog pozicionirajućeg ravnog ruba 6-inčne silicijske pločice je oko 22 mm.
