Uzmimo 4-inčnu monokristalnu silikonsku pločicu kao primjer:
Kao što je gore prikazano:
Orijentacija: <100>označava kristalografsku orijentaciju silicijske pločice. Ova orijentacija ima važan utjecaj na elektronička svojstva i proces proizvodnje uređaja na pločici.
Tip:P (bor) s jednim primarnim ravnim slojem znači da je pločica silicij P-tipa, odnosno da je dopirana borom kako bi stvorila višak rupa. "jedna primarna ploča" odnosi se na oblik ruba pločice, koji pomaže identificirati smjer kristalne rešetke.
Otpornost:1-10 Ohm-cm je otpornost pločice.
Razred:Prime / CZ Virgin označava kvalitetu i čistoću silikonske pločice. "Prime" je najviši stupanj i koristi se za visoko precizne primjene; "CZ" se odnosi na monokristalne silikonske pločice proizvedene CZ metodom.
Premazivanje:Ništa, izvorni oksid samo znači da nema dodatnog sloja filma na površini pločice, samo prirodno formirani sloj silicijevog dioksida.
Debljina:525µm (+/- 20µm) je debljina pločice, a pogreška se kontrolira unutar plus ili minus 20 mikrona. Ujednačenost debljine je kritična za sljedeće korake obrade.
Promjer:100 mm označava promjer pločice.
Warp:<=30µm, the lower the warp, the better the wafer quality.
naklon: <=30µm, similar to warping, it is also a measure of wafer flatness.
Glavni rub za pozicioniranje:32.5 +/- 2.5 mm označava duljinu glavnog ruba za pozicioniranje pločice, koji se koristi za lociranje smjera pločice. Neke pločice također imaju sekundarne rubove za pozicioniranje, kao što je prikazano u nastavku:
Hrapavost površine:0.2 - 0.3nm, polirana jedna strana znači da je silicijska pločica jednostruko polirana silicijska pločica, a jedinica hrapavosti površine je nanometar.